一种基于模式搜索法光刻配置参数的优化方法

摘要

本发明提供一种基于模式搜索法光刻配置参数的优化方法，具体步骤为：确定优化光刻配置参数以及光刻性能综合评价函数；在给定的所搜方向上更新一维搜索范围，在一维搜索范围内进行一维搜索，获取最小光刻性能综合评价函数对应的光刻配置参数点；获取新的一维搜索方向并进行一维搜索，获取最小光刻性能综合评价函数对应的光刻配置参数点；当循环次数达到最大或满足精度要求时，则结束优化。本发明统筹考虑各种光刻评价指标，通过构造具有多种光刻性能评价指标的评价函数，实现对优化结果进行评价，因此使得优化后的光刻配置参数可实现很好的光刻性能。