法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-03
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01N 3/12 授权公告日:20130619 终止日期:20160913 申请日:20110913
专利权的终止
2013-06-19
授权
授权
2013-06-19
授权
授权
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 3/12 申请日:20110913
实质审查的生效
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 3/12 申请日:20110913
实质审查的生效
2012-05-02
公开
公开
2012-05-02
公开
公开
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机译: 具有快速成膜速度的电弧蒸发源,成膜装置及利用电弧蒸发源进行涂膜的制造方法
机译: 具有快速成膜速度的电弧蒸发源,成膜装置及利用电弧蒸发源进行涂膜的制造方法
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