一种激光诱导等离子体注入基材的方法及装置

摘要

本发明涉及一种激光诱导等离子体注入工件的方法和装置，涉及离子注入装置和离子注入材料加工技术领域。激光器激发的高能短脉冲强激光冲击到金属箔上，金属箔吸收高能短脉冲激光能量瞬间气化、电离，产生高温等离子体，等离子体由金属离子、电子和不带电的原子构成，等离子吸收后续激光能量膨胀爆炸，等离子体爆炸过程中，电子与接负电位的工件之间的相斥力使电子背离工件运动，正电荷板中和一部分电子，正价金属离子与负电位工件之间的相吸力使金属离子朝着工件运动，在等离子体膨胀爆炸形成的冲击波作用和电场的吸引作用的叠加下，以极大的速度打在工件表面，完成金属离子注入。