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公开/公告号CN102017120B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN200980112185.2
发明设计人 艾瑞克·H·伦兹;
申请日2009-03-27
分类号
代理机构上海胜康律师事务所;
代理人周文强
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:15:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-10
授权
2011-06-01
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20090327
实质审查的生效
2011-04-13
公开
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