基于磁悬浮伺服驱动的微小孔电火花加工的主轴装置

摘要

本发明涉及一种基于磁悬浮伺服驱动的微小孔电火花加工的主轴装置，所述中空心轴的上部固定连接有磁耦合内转子，磁耦合内转子上部的中空心轴设置有转子端盖，柔性导线穿过转子端盖进入中空心轴空腔内，磁耦合内转子设置有内转子永磁体，径向电涡流位移传感器固定在上壳体内，绝缘转盘的下端设置在角接触球轴承内侧的上壳体上，磁耦合外转子固定在绝缘转盘的上部，磁耦合外转子上固定有外转子永磁体，本发明有利于电蚀产物的及时排出，改善放电间隙的放电条件，有利于提高电火花微小孔加工的加工质量与加工效率。可以根据不同的加工需要，可以实现直径为φ100μm～φ300μm的系列孔径的微小直孔、锥孔、阶梯孔加工。