一种亚波长混合型表面等离子激元光波导

摘要

本发明公开了一种具备亚波长光场限制能力的混合型表面等离子激元光波导，该波导结构的横截面包括金属基底层(1)、位于金属基底层上的低折射率介质层(2)、嵌于低折射率层中的高折射率介质区域(3)、位于低折射率介质层(2)上的高折射率介质区域(4)以及包层(5)。金属基底层(1)与其邻近的高折射率介质区域(4)可将光场限制在低折射率介质层(2)中，同时高折射率介质区域(3)的存在，可进一步缩小光场分布范围，实现对传输光场的亚波长约束。所述光波导结构进一步提高了传统混合型波导的模场限制能力，同时保持较低的传输损耗，为超高集成度光波导芯片的实现提供可能。