常温接合的器件、器件制造方法以及常温接合装置

摘要

本发明提供常温接合的器件、器件的制造方法以及常温接合装置。该器件在第一衬底和第二衬底的界面形成生成接合强度的中间材料，在该中间材料层内存多种金属元素。根据溅射时的运转参数，该多种金属元素的界面元素存在比率为0.07以上。这样，将难接合性材料组成的衬底(例如，SiO₂类材料衬底)通过常温接合，以实用的接合强度进行接合，从而得到器件。