法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-01-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 14/08 授权公告日:20130612 终止日期:20151118 申请日:20101118
专利权的终止
2013-06-12
授权
授权
2011-08-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/08 申请日:20101118
实质审查的生效
2011-06-22
公开
公开
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