法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-01
授权
授权
2011-11-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/27 申请日:20110126
实质审查的生效
2011-09-07
公开
公开
机译: 分配用于计算机读取可能的信息的记录介质的标准色板,用于记录比色传递系数计算方式和比色图像变换方式的空光谱反射率,比色传递系数计算装置和比色图像转换装置,
机译: 反射率测定装置,温度测定装置以及基板热处理装置以及反射率测定方法,温度测定方法以及基板热处理方法
机译: 反射率测定装置,反射率测定方法,膜厚测定装置以及膜厚测定方法