有紧急输出口的湿处理设备及其装载和卸载晶片组的方法

摘要

一种半导体湿处理设备和用该半导体湿处理设备装载和卸载晶片组的方法。半导体湿处理设备包括紧急输出口单元，通过该单元，如果紧急情况发生，等待在输入口单元的晶片组则可以无需操作人员的介入便自动地和迅速地卸载。因而，该设备和方法可以大大地减少整个工作时间和预先防止无法预见的运行故障。