公开/公告号CN102053501B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-06-05
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201010522651.9
发明设计人 A·X·阿利扎巴拉戈;
申请日2010-10-26
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:14:26
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/20 授权公告日:20130605 终止日期:20141026 申请日:20101026
专利权的终止
2013-06-05
授权
授权
2011-06-29
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20101026
实质审查的生效
2011-05-11
公开
公开
机译: 使用这种校准方法的校准方法和光刻设备
机译: 使用这种校准方法的校准方法和光刻设备。
机译: 使用这种校准方法的校准方法和光刻设备