公开/公告号CN101262981B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社荏原制作所;
申请/专利号CN200680033601.6
申请日2006-09-12
分类号
代理机构永新专利商标代理有限公司;
代理人王永建
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:14:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-15
授权
授权
2008-10-29
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-09-10
公开
公开
机译: 用于在抛光垫的抛光表面之间引起相对运动的基体抛光装置,基体抛光方法,用于调节用于抛光装置的抛光垫的抛光表面温度的装置
机译: 抛光方法,光学元件抛光方法,非球形表面抛光方法,抛光工具,抛光工具控制方法,抛光装置,光学元件,光学元件抛光,光学元件抛光和光学零件抛光方法
机译: 用于仿真的方法和装置,用于抛光的方法和装置,用于准备控制参数或控制程序的方法和装置,抛光系统,记录介质以及制造半导体装置的方法