防镀膜影响的外部检出装置及溅镀装置

摘要

一种防镀膜影响的外部检出装置，其装设于一溅镀装置腔体的两个成对的玻璃窗口，其包含一发射器以及一接收器，分别置于该腔体外部且与该玻璃窗口位置对应，该玻璃窗口包含两个防镀管置于该腔体内并分别遮蔽两个该玻璃窗口，该发射器发射一输出光进入该腔体而经由两个防镀管及至该接收器；该防镀管可以在溅镀装置于溅镀制程中，提供对应的玻璃窗口有效的遮蔽，使材料粒子不会镀制于该玻璃窗口上，故提升溅镀装置的使用便利性并可降低维护成本。