使用光学以及非反射功率方法的低功率RF调谐

摘要

本发明的诸方面包含通过使用等离子体数据监控组件来监控及调整基板处理系统中的等离子体的方法及设备。举例来说，可使用适于测量在电磁光谱的特定部分上的光性质的光学仪器，以检测一个或多个来自等离子体的波长强度。接着，电子装置(例如计算机软件)可分析所述波长强度，接着可调整匹配电路。以此方式，可获得一致的等离子体。在其它实施例中，本发明可利用腔体压力、基板温度、线圈电流、和/或等离子体之间的关系，来调整并维持可重复的等离子体工艺。