一种面向电缆监测垂直型磁敏传感芯片和磁敏传感器

摘要

本发明公开了一种面向电缆监测垂直型磁敏传感芯片和磁敏传感器，该芯片包括：传感单元，传感单元包括在垂直方向上层叠设置的至少四个磁敏感单元以及至少三个绝缘间隔层，磁敏感单元和绝缘间隔层交替设置，相邻磁敏感单元中磁敏感方向交替反平行，四个磁敏感单元通过串并联构成全桥结构。通过实施本发明，在垂直方向上堆叠设置多个磁敏感单元，可以使磁敏感单元实现高集成度；同时设置相邻磁敏感单元中磁敏感方向交替反平行，且四个磁敏感单元通过串并联形成全桥结构，相比传统面内互联形成全桥结构的方式，大大减小了磁敏传感芯片的面积，由此便于后续磁敏传感器的微缩。此外，通过磁敏感单元的串并联，能够降低磁敏传感芯片的噪声，提升灵敏度。