一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置

摘要

本发明公开了一种基于永磁铁的螺旋波等离子体放电装置，包括气源、射频电源系统、进气管道、流量调节阀、放电管、螺旋波天线、永磁铁、环形永磁铁支架、真空放电腔室、真空泵。射频电源与阻抗匹配器相连；阻抗匹配器与天线连接；螺旋波天线穿过放电管；放电管穿过环形永磁铁支架支撑，前端连接进气口，尾端连接真空放电腔室；永磁铁用专门设计的环形永磁铁支架卡住，产生磁场位型可调节的轴向磁场。永磁体具有不需要电力和冷却系统，体积小，耗能低，不产热等优点，有效降低设备的体积和成本，有利于开发紧凑的螺旋波等离子体放电装置。本发明系统选取永磁铁产生磁场，可实现高密度的螺旋波等离子体的激发。