一种基于硫杂素馨烯的硫鎓盐单分子树脂及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种式(I)所示的基于硫杂素馨烯的硫鎓盐单分子树脂及其制备方法。还涉及包含所述式(I)化合物的光刻胶组合物以及应用。本发明的化合物具有产酸和酸敏感双重功能，有助于实现了对酸扩散的调控和边缘粗糙度的有效降低。