一种惯性微系统组件的抗高过载异质集成结构

摘要

本发明公开了一种惯性微系统组件的抗高过载异质集成结构，包括置于惯性微系统组件的金属外壳内的底部缓冲壳体和顶部橡胶垫，两者形成的内部型腔用于容纳惯性微系统组件的电子学系统，本发明中底部缓冲壳体的底面由泡沫金属缓冲结构与橡胶减振结构构成，两者采用橡胶减振结构环绕契合泡沫金属缓冲结构外表面的方式进行异质集成。本发明通过橡胶与泡沫金属的异质集成结构，实现惯性微系统组件的抗高过载与减振特性，以及内部电子学系统装配稳定性与可靠性。