一种金属及金属化合物三维微纳结构的制备方法

摘要

本发明属于微纳加工相关技术领域，并公开了一种金属及金属化合物三维微纳结构的制备方法，包括：将金属盐水溶液与配位单体超声混合，使其充分反应得到前驱体溶液；向前驱体溶液中加入光敏聚合单体及光引发剂，得到金属离子复合光敏树脂；采用飞秒激光直写技术将金属离子复合光敏树脂加工成型为目标3D立体结构，然后进行显影；最后进行煅烧处理。通过本发明，能够制备出多种金属及金属化合物的3D微纳结构，并且结晶性好，结构形貌无畸变，有效解决了现有技术中存在的光散射、微爆炸、低分辨率、以及光敏树脂低金属离子含量所造成的形貌畸变、结晶性差、性能低劣等技术问题。