目视观测与CCD显示两用的检测干涉装置及其检测方法

摘要

本发明涉及光学零件加工技术领域，具体提供了一种目视观测与CCD显示两用的检测干涉装置，包括检测台，检测台上置有激光器、聚光镜组、分光棱镜、准直物镜、楔镜、目镜分光镜、目镜和CCD相机；聚光镜组位于激光器上方，分光棱镜设于激光器侧部且位于聚光镜组的下方，准直物镜和楔镜位于分光棱镜和待检测光学镜之间，目镜分光镜及目镜的水平中心连线与分光棱镜的水平中心线共线，CCD相机位于目镜分光镜的上方。本发明还提供了一种目视观测与CCD显示两用的检测方法。本发明针对检测光学零件的应用场景，具有目视观测操作方便的优点，同时又可通过CCD相机快速准确的读取干涉图像的信息，不易受环境影响，适用性高。