レーザー式欠陥検査装置：目視·CCDで見えにくい欠陥を広視野·高速·高精度で検出！

摘要

本稿では、従来のCCDカメラ方式の検査装置と比べ、優位点を中心に説明した。 現在、CCDカメラ方式の検査装置を使っている企業より自社で対応が難しい欠陥の検出に関して当社へ多くの相談を受けている。 当社ではこれまでの画像処理システムを活かしながらレーザー式検査の優位点をより手軽に利用可能なカメラリンクユニットを開発した。 このように既設カメラをレーザー式投·受光器に置き換えにより、検査装置だけでなくセンサー単体での需要にも視野を入れている。 今後の課題としてニーズに応じた検査幅の実現や高速化に対応していき、レーザー方式による検査装置の普及を図っていきたい。