一种基于聚焦离子束辅助沉积的增材制造方法

摘要

本发明涉及一种采用聚焦离子束辅助沉积产生微纳复合三维结构的增材制造方法。该方法是将聚焦离子束辅助沉积的应用扩展到3D增材制造中，通过气体注入系统将气相反应前驱物喷射到待加工结构基底表面，在离子束进行扫描过程中，气相前驱物受到离子束辐射发生反应，从而将所需材料沉积到基底表面。本发明利用离子束沉积的方法，实现自下而上的多层微纳米结构的加工。通过控制离子束的扫描图形和剂量，能够加工各种复杂图形的三维结构。本发明提出的方法具有分辨率高、可重复性强、可实时监测、适用于多种材料、可制造各种微纳复合结构等优点。