检查装置、位置调整单元及位置调整方法

摘要

不是依靠操作者的感觉的操作方法，而能够高精度地调整探针相对于电极焊盘的初始对位。本发明的检查装置是使用与被检查体的电极电接触的触头，检查被检查体的电特性，该检查装置具备：位置调整单元，其具有触头、调整触头的顶端位置的位置调整部、检测触头与电极的接触载荷值的载荷检测部；位置导出部，其基于在特定方向上的触头的接触位移量与触头及电极的接触载荷值的关系，导出在特定方向上的触头的初始位置；以及移动执行部，其基于由位置导出部导出的、特定方向上的初始位置，使触头的顶端位置移动。