一种基于仿生梯度微结构的柔性压力传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于仿生梯度微结构的柔性压力传感器及其制备方法，柔性压力传感器包括柔性基底层、力敏结构层和柔性封装层；柔性基底层内侧设置有图案化电极，力敏结构层相对于所述柔性基底层的一侧设置有若干高度不同的柔性凸起，柔性凸起表面涂覆有导电层；柔性封装层位于柔性基底层的另一侧，并对柔性基底层和力敏结构层形成封装。本发明基于仿生梯度结构的柔性压力传感器打破了目前均一微结构的设计理念，使用梯度结构提升了压力传感器的响应范围以及灵敏度。本发明中的传感器采用自下而上的层层叠加制备而成，具有超薄超轻、精度高、应用性强和易于大面积大规模制造的优点。