法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-12-23
公开
发明专利申请公布
机译: 具有主链构成环烯烃化合物的聚合物的光致抗蚀剂聚合物,其制备方法,包含该聚合物的光致抗蚀剂组合物以及使用该组合物的光致抗蚀剂图案的形成方法
机译: 光致抗蚀剂单体及其制备方法,光致抗蚀剂化合物及其制备方法,光致抗蚀剂组合物,光致抗蚀剂图案的形成方法和半导体元件
机译: 用作光致抗蚀剂的光致反应性单体的氧杂化合物,其制备方法,包含相同的光致抗蚀剂的聚合物以及使用相同的光致抗蚀剂微粉的制备方法