将施主材料沉积在目标表面上的受控沉积方法及用于其的板

摘要

本文提供了一种将施主材料(2)沉积到目标表面(51)上的方法，其中，用能够伸缩的层(4)覆盖基板(10)的第一主面(11)，该能够伸缩的层(4)是利用围绕该第一主面上的围合区域(13)的密封件(43)而附接到第一主面上的，由此限定了围合体(6)。该能够伸缩的层(4)具有背离该基板并且图案化有一个或多个凹陷区域(42a，……，42e)的外表面(41)，其中，该一个或多个凹陷区域填充有待沉积的施主材料(2)。在该围合体(6)的内部(61)中提供相对高的压力，使得它的体积(V61)增大，并且将该能够伸缩的层(4)的图案化表面(41)压向该目标表面(51)。在该能够伸缩的层(4)的那个状态下，在与该基板的第一主面(11)相对的第二主面(12)处，利用光子辐射照射该基板，该光子辐射具有使施主材料(2)从该一个或多个凹陷区域(42a，……，42e)转移到该目标表面(51)的强度和持续时间。还提供了板(1)和沉积装置(100)。