化学气相沉积在难熔金属材料中的应用

摘要

简述了化学气相沉积技术的发展,重点介绍了化学气相沉积技术在制备难熔金属材料异型制品和涂层方面的应用,并展望了化学气相沉积制备难熔金属制品在尖端应用领域的前景。