惯性检测电路、惯性传感器和惯性检测方法

摘要

本公开的目的是允许通过检测部进行异常诊断，同时抑制检测部的配置变得复杂。一种惯性力检测电路(10)设置有信号生成部(2)和处理部(3)。信号生成部(2)包括驱动电压生成部(21)和测试电压生成部(22)。驱动电压生成部(21)向固定电极(51)施加具有第一频率的驱动电压(D1)。测试电压生成部(22)向固定电极(51)施加具有低于第一频率的第二频率的测试电压(T1)。处理部(3)包括检测处理部(31)和诊断处理部(32)。检测处理部(31)执行基于检测信号(A2)检测固定电极(51)和移动电极(61)之间的静电电容(C0)的检测处理。诊断处理部(32)执行基于诊断信号(T2)诊断检测部(4)的异常的诊断处理。