束流分布专用探测装置和束流分布探测方法

摘要

本公开涉及一种束流分布专用探测装置和束流分布探测方法。该束流分布专用探测装置包括至少一个探测器模块，探测器模块包括线阵探测器和逻辑控制模组，其中，线阵探测器，被配置为根据逻辑控制模组的指示，采集束流数据；逻辑控制模组，被配置为对束流数据进行处理，根据处理后的束流数据判断束流状态是否满足预定要求；在束流状态不满足预定要求的情况下，对束流进行调整。本公开采用线阵探测器，使用方法简单，大大节省了调试时间。