公开/公告号CN101288219B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-04-03
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器股份有限公司;
申请/专利号CN200680034651.6
申请日2006-08-14
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人陈炜
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:13:48
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-04-03
授权
授权
2008-12-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-10-15
公开
公开
机译: 臭氧发生器的负载谐振型电源
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