公开/公告号CN102664536B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器股份有限公司;
申请/专利号CN201210137285.4
申请日2006-08-14
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人亓云
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:35:32
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-02
授权
授权
2012-11-07
实质审查的生效 IPC(主分类):H02M5/458 申请日:20060814
实质审查的生效
2012-09-12
公开
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机译: 臭氧发生器的负载谐振型电源
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