一种基于层间耦合作用的柔性应力传感器及其制备方法

摘要

本发明属于传感器领域，具体为一种基于层间耦合作用的柔性应力传感器及其制备方法。S100：制备柔性基底以及封装层，柔性基底与封装层为结构相同的掩膜板。S200：将导电银浆涂抹于柔性基底的表面，并引出形成电极I。S300：在柔性基底与电极上表面滴涂纳米线溶液，并使用加热垫进行加热干燥，使柔性基底表面形成高导电性纳米线薄膜。S400：在高导电性纳米线薄膜上表面滴涂二维材料的水溶液，干燥形成二维材料薄膜。S500：在二维材料薄膜上表面滴涂纳米线溶液，并使用加热垫进行加热干燥，使二维材料薄膜表面形成高导电性纳米线薄膜。S600：将导电银浆涂抹于高导电性纳米线薄膜的表面，并引出形成电极II。S700：将封装层涂于高导电性纳米线薄膜和电极表面。