链式吸杂用磷源及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种链式吸杂用磷源，其各组分的质量百分含量为：磷源前驱体2%～10%，聚乙二醇1%～20%，柠檬酸1%～5%，有机溶剂1%～10%，余量为水。本发明还提供上述链式吸杂用磷源的制备方法和应用。本发明的磷源能很好的匹配现有链式扩散吸杂设备，可避免或改善现有磷源链式高温扩散吸杂产生偏磷酸、焦磷酸残留的问题。本发明通过调整磷源配方，优化链式扩磷吸杂的温度、时间、氛围等参数，使扩磷的扩散均匀性、结深等性质较常规磷酸混合液有所提升。采用本发明制备的磷源，结合链式设备进行快速磷扩散，可在较短的时间内达到与传统管式扩散一样的扩散水平，使链式扩散的工业化应用得以实现，解决了目前管式扩散设备及自动化昂贵的问题。