公开/公告号CN115136276A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-30
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202180015158.4
申请日2021-02-15
分类号H01J37/18;H01J37/20;
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人张宁
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 16:59:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-30
公开
国际专利申请公布
机译: 带电粒子系统中的流体转移系统
机译: 带电粒子系统中的流体转移系统
机译: 用于监视带电粒子系统中的抗蚀剂带电的方法