公开/公告号CN115127894A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-30
原文格式PDF
申请/专利号CN202110334209.1
申请日2021-03-29
分类号G01N1/34;B08B1/00;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;F26B9/06;
代理机构北京聿宏知识产权代理有限公司;
代理人吴大建;张高洁
地址 100728 北京市朝阳区朝阳门北大街22号
入库时间 2023-06-19 16:59:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-30
公开
发明专利申请公布
机译: 用于在半导体清洁设备中对晶片进行薄片化的套件以及使用该工具的薄片对薄片化方法
机译: 用于在半导体清洁设备中对晶片进行薄片化的套件以及使用该工具的薄片对薄片化方法
机译: 旋转表面清洁工具,包括适用于清洁地毯的工具,以及相关的系统和方法