位移测量探头、测量装置及位移测量方法

摘要

本申请提供了一种位移测量探头、测量装置及位移测量方法。位移测量探头包括：光束输出组件，用于输出准直的第一高斯光束；光束转换组件，用于将准直的第一高斯光束转换为第一贝塞尔光束并出射至待测物面；成像组件，成像组件包括成像透镜及线阵图像传感器，成像透镜的光轴与第一贝塞尔光束成第一角度，成像透镜用于对第一贝塞尔光束照射在待测物面所形成的亮斑成像，线阵图像传感器与光轴成第二角度设置，用于接收成像透镜对亮斑所成的亮斑图像，亮斑图像用于计算待测物面相对基准面的位移。本申请提供的位移测量探头能以高横向分辨率对具有精细台阶式轮廓的物面进行高纵向分辨率位移测量的同时，增大测量量程。