一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法及系统

摘要

本发明公开了一种控制精制三氯氢硅中二氯氢硅含量的方法，属于多晶硅生产技术领域，包括以下步骤：将合成的高纯度三氯氢硅与回收三氯氢硅送入分离塔中进行混合，通过对分离塔进行加热，汽化氯硅烷，再通过冷凝器冷凝二氯二氢硅至液态，采出部分二氯二氢硅，余下部分二氯二氢硅送回至分离塔作为回流液，获取分离塔塔釜中的压力值和温度值，通过DCS系统判断分离塔中二氯二氢硅的含量与分离塔压力值、温度值的关系，确定二氯二氢硅的采出量，同时公开了匹配该方案的系统，有效解决现有技术生产多晶硅的还原工段中，输入原料精制三氯氢硅过程中，三氯氢硅与二氯二氢硅的比例存在较大波动，导致产品质量不稳定的问题。