高度测量装置及高度测量方法

摘要

本发明的高度测量装置具备：光照射部，其将包含多个光束的照射光以相对于样品的高度方向倾斜的角度照射至样品，该多个光束在与光轴方向交叉的方向上排列且波长互不相同；相机系统，其检测来自被照射有照射光的样品的光，并输出该光的波长信息；及控制装置，其基于波长信息而计算样品的高度；且相机系统具有：倾斜二向色反射镜，其透过率及反射率在特定波长区域内根据波长而变化，通过使来自样品的光透过及反射而将该光分离；光检测器，其从已在倾斜二向色反射镜反射的光检测反射光量；光检测器，其从已透过倾斜二向色反射镜的光检测透过光量；及处理部，其基于反射光量与透过光量的比，计算波长信息并将其输出。