光学位移测量系统、处理装置和光学位移计

摘要

本发明提供了光学位移测量系统、处理装置和光学位移计。形状生成单元通过合成多个轮廓数据来生成调整工件的三维数据，该多个轮廓数据是由于具有球面的调整工件在与Y1方向相对应的摄像头部的移动方向A上的相对移动而与Y1方向上的各位置相对应地生成的。球信息计算单元计算三维数据中所包括的多个点所限定的球面的参数。失真量计算单元基于该参数来计算球面的失真量。校正值计算单元计算构成三维数据的多个轮廓数据中的围绕X2轴的第一旋转角度校正值和围绕Z2轴的第二旋转角度校正值其中至少之一，以减小失真量。