硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统

摘要

本发明公开了硅片清洗液混合装置及采用该装置的硅片清洗液循环系统，硅片清洗液混合装置包括顶部敞开的清洗液混合盒，清洗液混合盒的底板上从左向右依次安装有第一溢流组件、垂直于清洗液混合盒的底板的溢流阻挡板、隔板，隔板的上端活动安装有溢流斜倾板；硅片清洗液循环系统包括硅片清洗液混合装置、硅片清洗机、清洗液补充箱、混酸室、控制装置，硅片清洗液混合装置安装在混酸室内，混酸室顶部设有抽风机，抽风机与设置在混酸室外的酸雾处理装置相连。本发明通过在线补充新酸液并通过溢流混合、降温，可实现清洗液循环利用并保证清洗质量，且装置具有方便清理的特点。