一种高度集成的真空集成系统

摘要

本专利公开了一种高度集成的真空集成系统，包括箱体、第一高速真空泵和第二高速真空泵；箱体包括容纳腔、第一进气口和第一排气口，第一进气口和第一排气口均与容纳腔相连通；箱体上还集成设置有冷却水装置、氮气装置和电气系统；第一高速真空泵和第二高速真空泵均固定容置于容纳腔内，第一进气口通过进气管依次与第一高速真空泵和第二高速真空泵密封连接，第二高速真空泵的排气口与第一排气口密封连接；冷却水装置能够提供冷却循环水，氮气装置能够为本系统提供氮气，电气系统被配置的能够控制系统的运行。本发明为高度集成的真空集成系统，各种功能均集成于箱体上，便于适配客户的现场情况，装配灵活、方便，无需拆卸客户的安装管道。