真空处理装置和使用该真空处理装置的真空处理方法

摘要

本发明涉及一种真空处理装置和使用该真空处理装置的真空处理方法。一种真空处理装置，包括：沿着第一方向依次布置的多个传送室；沿着垂直于所述第一方向的第二方向连接到所述多个传送室的多个处理室；以及连接到所述多个传送室中的第一传送室的位置转换室。所述多个传送室各自包括旋转运动台，所述旋转运动台被配置用以围绕垂直于所述第一方向和所述第二方向的旋转轴线旋转，并且用以沿着由所述第一方向和所述第二方向形成的平面移动。