一种工业化大批量生产硅复合直立式石墨烯的方法

摘要

本发明公开一种可以应用在工业上大批量低成本将立式石墨烯复合于硅颗粒表面的方法，本方法将目标颗粒放置于空心半封闭圆环形轮转装置内部的反应处，将等离子体电极板置于圆环形轮转装置之中，与目标颗粒保持一定距离。等离子电极板与圆环形轮转装置分别接入等离子体发生电源的两级，当通入适当比例的含碳气体后，开启电源，等离子电极板与圆环形轮转装置内反应处之间产生等离子体，通过等离子增强化学气相沉积的方法制得石墨烯‑硅复合颗粒。其中圆形环是置于两个转轮之上，通过两个转轮可以缓慢转动圆形环，环内反应处的反应物会随着转发生滚动翻转，使得反应物可以得到充分的负载，实现大批量低成本的生产。