公开/公告号CN114912873A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-08-16
原文格式PDF
申请/专利权人 上海东普信息科技有限公司;
申请/专利号CN202210538125.4
发明设计人 刘超;
申请日2022-05-18
分类号G06Q10/08;G08B21/24;
代理机构北京市京大律师事务所;
代理人姚维
地址 201700 上海市青浦区外青松公路5045号508室U区44号
入库时间 2023-06-19 16:30:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-09
实质审查的生效 IPC(主分类):G06Q10/08 专利申请号:2022105381254 申请日:20220518
实质审查的生效
机译: 半导体制造设备,检测异常的方法,识别异常的原因或预测半导体制造设备中的异常的方法以及用于执行该方法的存储介质存储计算机程序
机译: 存储元件的异常检测装置,存储元件的异常检测方法,存储元件的异常检测程序以及计算机可读介质存储异常检测程序
机译: 用于存储元件的异常检测装置,用于存储元件的异常检测方法,用于存储元件的异常检测程序以及存储该异常检测程序的计算机可读记录介质