半透明钙钛矿电池、半透明钙钛矿电池组及其制备方法

摘要

一种半透明钙钛矿电池、半透明钙钛矿电池组及其制备方法，所述半透明钙钛矿电池包括从下至上依次叠加设置的玻璃基板、第一透明电极层、第一传输层、钙钛矿活性层、第二传输层、第二透明电极层和第一金属层；其中，所述第一透明电极层上还设有绝缘层。本发明提供的半透明钙钛矿电池性能稳定，电阻低，且具有高透过率，效率高，适用于多种场合。本发明旨在提供一种具有高透过率、低电阻、稳定性能高的半透明钙钛矿电池。

说明书

技术领域

本发明涉及电池技术领域，具体涉及一种半透明钙钛矿电池及其制备方法及半透明钙钛矿电池组。

背景技术

随着光伏行业的不断发展，占主导地位的硅电池也在其66年的发展历程中迎来了新的挑战。目前晶硅电池的效率已接近了29.4％理论效率极限，量产的PERC电池也突破了23％的效率，如何提突破硅电池的效率极限也就成为了当今学界的研究热点。作为第三代太阳能电池的钙钛矿自2009年发明以来，短短11年间其光电转换效率已经突破25％。由于钙钛矿电池带隙可调的优势，通过带隙的调整使其仅吸收短波段的光，同时搭配半透明的优势与传统硅电池组合制备叠层电池成为了硅电池未来的主要发展方向之一。但是现有的钙钛矿电池存在稳定性不足和组件大面积尺寸的问题，目前部分钙钛矿电池采用双面TCO电极来提高电池的透过率，在一定程度上解决了金属离子迁移导致的钙钛稳定性下降等问题，但是TCO电阻较大，导致电池的转化效率降低，得不偿失，如何提供一种高透过率、低电阻，稳定性高的钙钛矿电池是目前亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明的主要目的是提出一种半透明钙钛矿电池及其制备方法及半透明钙钛矿电池组，旨在解决现有钙钛矿电池透过率低、电阻高、稳定性差的问题。

为实现上述目的，本发明提出的一种半透明钙钛矿电池，包括从下至上依次叠加设置的玻璃基板、第一透明电极层、第一传输层、钙钛矿活性层、第二传输层、第二透明电极层和第一金属层；

其中，所述第一透明电极层上还设有绝缘层。

可选地，所述半透明钙钛矿电池还包括第二金属层，所述第二金属层设于所述第一透明电极层与所述绝缘层之间，且所述绝缘层包裹所述第一透明电极层设置。

可选地，所述第二金属层的材质包括含金属化合物，所述含金属化合物包括Ag、Al、Mo、Cu、Au、Cr中的至少一种金属元素。

可选地，所述第一传输层、所述钙钛矿活性层和所述第二传输层三者的高度之和不高于所述绝缘层的高度。

可选地，所述绝缘层的边缘角度为α，其中，α<80°。

可选地，所述第一透明电极层的材质包括FTO、ITO和AZO中的一种；和/或，

所述第二透明电极层的材质包括FTO、ITO、AZO、IWO和导电碳浆中的一种；和/或，

所述绝缘层的材质包括透明树脂。

可选地，所述第一传输层的材质包括TiO

所述第二传输层的材质包括PEDOT：PSS、CuSCN、CuI、Cu

本发明还提供了一种半透明钙钛矿电池组件，包括：

基板；

金属线，环绕所述基板的四周设置；以及，

多个电池组，设于所述金属线内，且各所述电池组沿第一方向排列在所述基板上，相邻两个所述电池组之间通过所述金属线连接，各所述电池组包括多个沿第二方向设置的半透明钙钛矿电池，所述半透明钙钛矿电池包括从下至上依次叠加设置的玻璃基板、第一透明电极层、第一传输层、钙钛矿活性层、第二传输层、第二透明电极层和第一金属层；其中，所述第一透明电极层上还设有绝缘层。

其中，所述半透明钙钛矿电池还包括第二金属层，所述金属线包括所述半透明钙钛矿电池上的第一金属层和第二金属层。

可选地，各所述电池组具有在第二方向上的两端，相邻两个所述电池组对应的两端的正负极通过所述金属线连接。

可选地，相邻两个所述电池组为第一电池组和第二电池组，所述第一电池组的一端上的第二金属层与所述第二电池组与所述第一电池组一端对应的一端上的第一金属层通过所述金属线连接。

可选地，所述半透明钙钛矿电池的形状包括多边形或者圆形，所述多边形包括四边形、六边形和八边形中的一种。

可选地，所述半透明钙钛矿电池的形状为六边形；

所述金属线的宽度不大于300um。

可选地，所述金属线的宽度不大于60um。

此外，本发明还提供了一种半透明钙钛矿电池组件的制备方法，包括以下制备步骤：

在玻璃基板上设置第一透明电极层，刻蚀出规定形状，以将所述第一透明电极层分割成相互断开的多个；

在各所述第一透明电极层上设置绝缘层；

在各所述第一透明电极层上依次第一传输层、钙钛矿活性层和第二传输层；

在各所述第二传输层上设置第二透明电极层；

在各所述第二透明电极层上设置第一金属层。

可选地，在各所述第一透明电极层上设置绝缘层的步骤包括：

在各所述第一透明电极层上设置第二金属层，在个所述第二金属层上设置绝缘层，以使得各所述绝缘层包裹各所述第二金属层。

可选地，在玻璃基板上设置第一透明电极层，刻蚀出规定形状，以将所述第一透明电极层分割成相互断开的多个的步骤包括：利用真空镀膜设备在所述玻璃基板上设置第一透明电极层，再利用激光在所述第一透明电极层上刻蚀TCO图形，以将所述第一透明电极层分割成相互断开的多个；或者，

利用真空镀膜设备在所述玻璃基板上设置第一透明电极层，再利用黄光制程曝光，然后利用酸刻蚀TCO图形，以将所述第一透明电极层分割成相互断开的多个。

可选地，在各所述第一透明电极层上依次设置第一传输层、钙钛矿活性层和第二传输层的步骤包括：利用溶液法或者磁控溅射法在各所述第一透明电极层上设置第一传输层，在各所述第一传输层上设置钙钛矿活性层，再利用溶液法或者磁控溅射法在各所述钙钛矿活性层上设置第二传输层。

可选地，所述钙钛矿活性层的设置方法包括真空蒸镀法、磁控溅射法、溶液狭缝涂布法、丝网印刷法、喷涂法和喷墨打印法中的一种。

在本发明技术方案中，所述半透明钙钛矿电池的电阻小、透过率高、性能稳定，其中，设置所述绝缘层的一个目的是为了将所述半透明钙钛矿电池的正负极阻隔开，避免短路，另外一个目的是起阻挡作用，在一定程度上阻挡组织水氧，避免组织水氧进入所述半透明钙钛矿电池，对所述钙钛矿活性层造成侵蚀，所述绝缘层能够起到保护作用，保护所述钙钛矿活性层，提高所述半透明钙钛矿电池的稳定性；设置所述第一金属层的目的是为了减小所述第二透明电极层的电阻，增加所述第二透明电极层的载流子收集能力，减小能源的损耗，提高电池的效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明提供的半透明钙钛矿电池的一实施例的结构示意图；

图2为本发明提供的半透明钙钛矿电池的另外一实施例的结构示意图；

图3为本发明提供的半透明钙钛矿电池的制备方法的流程示意图；

图4为本发明提供的半透明钙钛矿电池组件的一实施例的结构示意图；

图5为图4中D的放大示意图；

图6为图5中A-A的剖视示意图；

图7为图5中B-B的剖视示意图；

图8为本发明提供的半透明钙钛矿电池组件的另外一实施例的结构示意图。

附图标号说明：

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，若本发明实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示) 下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

随着光伏行业的不断发展，占主导地位的硅电池也在其66年的发展历程中迎来了新的挑战。目前晶硅电池的效率已接近了29.4％理论效率极限，量产的PERC电池也突破了23％的效率，如何提突破硅电池的效率极限也就成为了当今学界的研究热点。作为第三代太阳能电池的钙钛矿自2009年发明以来，短短11年间其光电转换效率已经突破25％。由于钙钛矿电池带隙可调的优势，通过带隙的调整使其仅吸收短波段的光，同时搭配半透明的优势与传统硅电池组合制备叠层电池成为了硅电池未来的主要发展方向之一。但是现有的钙钛矿电池存在稳定性不足和组件大面积尺寸的问题，目前部分钙钛矿电池采用双面TCO电极来提高电池的透过率，在一定程度上解决了金属离子迁移导致的钙钛稳定性下降等问题，但是TCO电阻较大，导致电池的转化效率降低，得不偿失，如何提供一种高透过率、低电阻，稳定性高的钙钛矿电池是目前亟待解决的技术问题。

鉴于此，本发明提供一种半透明钙钛矿电池及其制备方法及半透明钙钛矿电池组，图1至图2为本发明提供的半透明钙钛矿电池的一实施例，图3 为本发明提供的半透明钙钛矿电池的制备方法一实施例的流程示意图，图4 至图8为本发明提供的半透明钙钛矿电池组的一实施例。

以下结合具体的附图主要对所述半透明钙钛矿电池100进行说明，请参阅图1和图2，所述半透明钙钛矿电池100包括从下至上依次叠加设置的玻璃基板1、第一透明电极层2、第一传输层3、钙钛矿活性层4、第二传输层5、第二透明电极层6和第一金属层7；其中，所述第一透明电极层2上还设有绝缘层9。

在本发明技术方案中，所述半透明钙钛矿电池100的电阻小、透过率高、性能稳定，其中，设置所述绝缘层9的一个目的是为了将所述半透明钙钛矿电池100的正负极阻隔开，避免短路，另外一个目的是起阻挡作用，在一定程度上阻挡组织水氧，避免组织水氧进入所述半透明钙钛矿电池100，对所述钙钛矿活性层4造成侵蚀，所述绝缘层9能够起到保护作用，保护所述钙钛矿活性层4，提高所述半透明钙钛矿电池100的稳定性；设置所述第一金属层 7的目的是为了减小所述第二透明电极层6的电阻，增加所述第二透明电极层 6的载流子收集能力，减小能源的损耗，提高电池的效率。

需要说明的是，所述第二金属层8可以根据具体情况进行设置，在一实施例中，请参阅图1，所述半透明钙钛矿电池100还包括第二金属层8，所述第二金属层8设于所述第一透明电极层2与所述绝缘层9之间，且所述绝缘层9包裹所述第一透明电极层2设置，设置所述第二金属层8的目的是为了减小所述第一透明电极层2的电阻，增加所述第一透明电极层2的载流子收集能力，减小能源的损耗，提高所述半透明钙钛矿电池100的效率；在另外一实施例中，请参阅图2，所述第一透明电极层2与所述绝缘层9之间不设置所述第二金属层8，在制备过程中，通过调整制备工艺将所述第一金属层7设置在所述第二金属层8的位置，其目的是为了节省工艺，降低成本，具体地，在实际制备过程中，直接使用印刷方式，或黄光制程暴露出所述第一透明电极层2，在设置所述第一金属层7时，采用一次金属镀膜的方法同时将所述第一金属层7设置在所述第一透明电极层2和所述第二透明电极层6上，最后使用激光将所述半透明钙钛矿电池100从中间的位置切割开，以形成独立的所述半透明钙钛矿电池100，从而节省了制备所述第二金属层8的工艺，降低成本。

需要说明的是，在本发明中，所述半透明钙钛矿电池100还包括电子传输层和空穴传输层，其中，所述空穴传输层和所述电子传输层的具体位置不做限定，可以根据具体情况进行设定，具体地，在一实施例中，所述第一传输层3设置为所述电子传输层，所述第二传输层5设置为所述空穴传输层，在另外一实施例中，所述第一传输层3设置为空穴传输层，所述第二传输层5 设置为电子传输层；所述电子传输层和所述空穴传输层的具体形成方式参考本领域常规设置方式即可，此处不再一一赘述。

进一步地的，为了保提高所述半透明钙钛矿电池100的透过率，请参阅图1，在本实施例中，所述第一金属层7和所述第二金属层8平齐设置，从而增加所述半透明钙钛矿电池100的透过率。

同时，为了提高所述半透明钙钛矿电池100的透过率，所述绝缘层9的材质选择透明树脂，如此一来，既可以保证所述绝缘层9的绝缘性能，又能够保证所述半透明钙钛矿电池100的透过率。

在一实施例中，为了更进一步地提高所述半透明钙钛矿电池100的透过率，在所述半透明钙钛矿电池100的中心位置转孔设置，从而提高所述半透明钙钛矿电池100的透过率。

为了降低所述半透明钙钛矿电池100的电阻，在一实施例中，所述第二金属层8的材质包括含金属化合物，所述含金属化合物包括Ag、Al、Mo、 Cu、Au、Cr中的至少一种金属元素。具体地，在一实施例中，所述第二金属层8的材质选择银合金，所述银合金的电阻较低，能源消耗较小，从而提高所述半透明钙钛矿电池100的效率；在另外一实施例中，所述第二金属层8 选择铝合金，所述铝合金的电阻也较小，且价格便宜，能够降低电阻的同时还能够降低成本。

请继续参阅图1，所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层4和所述第二传输层5三者的高度之和不高于所述绝缘层9的高度，具体地，所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层4和所述第二传输层5三者的高度高于所述绝缘层9 的高度时，会导致组织水氧进入所述第一传输层3或者所述钙钛矿活性层4 或者所述第二传输层5，对其产生侵蚀，导致所述半透明钙钛矿电池100的稳定性降低，因此，在本实施例中，设置所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层 4和所述第二传输层5三者的高度之和不高于所述绝缘层9的高度的目的是为了隔绝组织水氧，保护所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层4和所述第二传输层5，提高所述钙钛矿电池的稳定性。

进一步地，请继续参阅图1，所述绝缘层9的边缘角度为α，其中，α<80°，具体地，在实际生产时，在设置所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层4和所述第二传输层5时，需要采用涂布技术，为了避免在涂布的过程中或者在金属氧化物成膜的时候，所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层4和所述第二传输层5时出现断裂，需要将所述绝缘层9的边缘角度设置为不大于80°，从而避免出现开路现象，导致所述半透明氧化物电池无法使用。

所述第一透明电极层2的材质不做限定，具体地，所述第一透明电极层2 的材质可以是FTO，可以是ITO，还可以是AZO。

所述第二透明电极层6的材质也不做限定，具体地，所述第二透明电极层6的材质可以是FTO，可以是ITO，可以是AZO，可以是IWO，还可以是导电碳浆。

需要说明的是，所述第一透明电极层2和所述第二透明电极层6的材质可以选择为一样的，也可以选择为不一样的，具体设置根据实际情况进行选择；在一实施例中，所述第一透明电极层2的材质选择FTO，所述第二透明电极层6的材质选择碳浆，所述第二透明电极层6选择碳浆的原因是为了提高所述半透明钙钛矿电池100的稳定性，如果所述第二透明电极层6的材质选择为金属氧化合物，所述金属化合物中的金属离子可能会发生迁移，进入所述钙钛矿活性层4，导致所述半透明钙钛矿电池100的稳定性降低；在另外一实施例中，所述第一透明电极层2的材质选择FTO，所述第二透明电极层6 的材质选择为FTO，如此一来，能够提高所述第二传输层5的电子传递效率，从而提高所述半透明钙钛矿电池100的工作效率。

进一步地，所述第一传输层3的材质包括第一金属氧化物，所述第一金属氧化物的不做限定，具体地，所述第一金属氧化物可以是TiO

更进一步地，在本实施例中，所述第二传输层5的材质包括第二金属氧化物，所述第二金属氧化物不做限定，具体地，所述第二金属氧化物可以是 PEDOT：PSS，可以是CuSCN，可以是CuI，可以是Cu

本发明还提供了一种半透明钙钛矿电池组件10000，请参阅图4、图6和图7，所述半透明钙钛矿电池组件10000包括基板2000、金属线3000和多个电池组1000；所述金属线3000环绕所述基板2000的四周设置；多个所述电池组1000设于所述金属线3000内，且各所述电池组1000沿第一方向排列在所述基板2000上，相邻两个所述电池组1000之间通过所述金属线3000连接，各所述电池组1000包括多个沿第二方向设置的半透明钙钛矿电池100，所述半透明钙钛矿电池100的具体结构参考上述实施例；由于本半透明钙钛矿电池组件10000采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此至少具有上述实施例的技术方案所带来的所有的有益效果，在此不再一一赘述。

需要说明的是，在本实施例中，请参阅图4，第一方向和第二方向在水平面内为互相垂直的两个方向。

请参阅图4和图5，各所述电池组1000具有在第二方向上的两端，相邻两个所述电池组1000之间的连接方式不做限定，具体地，在一实施例中，相邻两个所述电池组1000对应的两端通过金属线3000连接，如此一来，各组所述电池组1000只有沿第二方向上的两端通过所述金属线3000连接，内部不做连接，这样做的目的是为了提高所述半透明钙钛矿电池组件10000的透过率，各组所述电池组1000之间存在的间隙会增加，此时如果采用所述金属线3000将各组所述电池组1000之间连接起来，间隙中的所述金属线3000会阻挡一部分的光线，导致整体的透过率降低。

具体地，请参阅图5，为了便于描述各组所述电池组1000之间的连接关系，以图示中A部分的所述的电池组1000和B部分所述的电池组1000为例进行说明，相邻两个所述电池组1000为第一电池组200和第二电池组300(即 A部分的所述的电池组1000为第一电池组200、B部分所述的电池组1000为第二电池组300)，所述第一电池组200包括沿第二方向设置的第一端201和第二端202，所述第二电池组300包括沿第二方向设置的第三端301和第四端302，所述第一端201与所述第三端301对应平齐设置，所述第二端202和所述第四端302对应平齐设置；具体地，在本实施例中，所述第一端201上的所述第一金属层7与所述金属线3000连接，所述第三端301上的第二金属层 8与所述金属线3000连接，所述第二端202上的第二金属层8与所述金属线 3000连接，所述第四端302上的第一金属层7与所述金属线3000连接，如此一来，所述第一电池组200的两端通过所述金属线3000与所述第二电池组300 的两端连接，从而实现各所述电池组1000和各所述电池组1000之间的连接，如此设置一方面能够增加所述半透明钙钛矿电池组件10000的透过率，另外一方面能够减小所述半透明钙钛矿电池组件10000的电阻。

需要说明的是，所述半透明钙钛矿电池100的形状不做限定，可以是多边形，也可是圆形，当所述半透明钙钛矿电池100的形状设置为多边形时，可以是四边形，可以是六边形还可以是八边形；具体情况根据所述半透明钙钛矿电池组件10000的布局进行设置。

需要说明是，在一实施例中，请参阅图8，各所述半透明钙钛矿电池100 的形状设置为六边形，沿所述第二方向设置的相邻的两个所述半透明钙钛矿电池100之间重叠的两个边为第一边和第二边，为了增加所述半透明电池组件10000的透过率，将所述第一边和第二边上的所述绝缘层9、所述第一金属层7和所述第二金属层8刻蚀掉，故在第二方向上，位于边缘的每个所述六边形至多保留五个边，位于中间的所述六边形至少保留四个边。

进一步地，所述半透明钙钛矿电池100的形状为六边形，所述金属线3000 的宽度不大于60um，如此设置的目的是一方面是为了降低所述金属线3000 的电阻，提高所述半透明钙钛矿电池组件10000的效率，另外一方面是为了提高所述半透明钙钛矿电池组件10000的美观度，所述金属线3000在60um 以下，则肉眼不可见的，整个器件相对呈现半透明状。

此外，本发明还提供了一种半透明钙钛矿电池组件的制备方法，请参阅图2，所述半透明钙钛矿电池的制备方法包括以下制备步骤：

步骤S10、在玻璃基板1上设置第一透明电极层2，刻蚀出规定形状，以将所述第一透明电极层2分割成相互断开的多个；

在进行步骤S10时，具体可以通过以下步骤进行操作：利用真空镀膜设备在所述玻璃基板1上设置第一透明电极层2，再利用激光在所述第一透明电极层2上刻蚀TCO图形，以将所述第一透明电极层2分割成相互断开的多个；

也可以通过以下步骤进行操作：利用真空镀膜设备在所述玻璃基板1上设置第一透明电极层2，再利用黄光制程曝光，然后利用酸刻蚀TCO图形，以将所述第一透明电极层2分割成相互断开的多个。

需要说明的是，在本实施例中，为了便于操作，在实际生产过程中，首先在所述玻璃基板1上铺满所述第一透明电极层2，然后再采用激光或者酸刻蚀技术刻蚀出多个TCO图形，以形成单个相互直接断开的所述第一透明电极层2。

步骤S20、在各所述第一透明电极层2上设置绝缘层9；

在设置所述绝缘层9时，需要注意的是，所述绝缘层9的宽度不得大于 100um，这样做的目的是为了提高所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层4和所述第二传输层5三者的设置面积，提高所述半透明钙钛矿电池100的转化效率，如果所述绝缘层9的宽度大于100um，会导致所述第一传输层3、所述钙钛矿活性层4和所述第二传输层5与所述第一透明电极层2和所述第二透明电极层6的接触面积过小，部分能量不能够全部有效的转化成电能，导致所述半透明钙钛矿电池100的效率降低，同时也会在一定程度上增加制造成本。

在一实施例中，在进行步骤S20时，具体可以通过以下步骤进行操作：利用磁控溅射技术在所述第一透明电极层2上设置第二金属层8，再利用狭缝涂布技术在所述第二金属层8上设置所述绝缘层9，需要注意的是，在设置所述绝缘层9时，需要注意是所述绝缘层9需要包裹部分的所述第二金属层8。

也可以通过以下步骤进行操作：利用丝印技术在所述第一透明电极层2 上设置第二金属层8，在利用丝印技术在所述第二金属层8上设置所述绝缘层 9，加热蒸发溶剂，对所述绝缘层9进行固化处理，处理过程中，需要注意的要让所述绝缘层9形成一定的坡度角，便于后续步骤中的第二透明电极层6 的搭接；其中，所述坡度角的形成方式采用本领域常规技术手段设置即可，此处不再一一赘述。

在本发明中可以选择设置所述第二金属层8，也可以选择不设置所述第二金属层8，当选择不设置第二金属层8时，可以省略所述第二金属层8的制备步骤。

步骤S30、在各所述第一透明电极层2上依次第一传输层3、钙钛矿活性层4和第二传输层5；

在进行步骤S30时，具体可以通过以下步骤进行操作：利用溶液法或者磁控溅射法在所述第一透明电极层2上设置第一传输层3，在所述第一传输层 3上设置钙钛矿活性层4，再利用溶液法或者磁控溅射法在所述钙钛矿活性层 4上设置第二传输层5。

所述钙钛矿活性层4的设置方法不做限定，具体地可以是真空蒸发法，可以是磁控溅射法，可以是溶液涂布法，可以是丝网印刷法，可以是喷涂法，还可以是喷墨打印法；作为本实施例的一个优选实施例，所述钙钛矿活性层4 的设置方法选择为喷墨打印，此方法可以提高所述钙钛矿活性层4分布的均匀性，节省材料，降低成本。

在进行步骤S40时，具体可以通过以下步骤进行操作：利用真空镀膜设备在所述第二传输层5上设置第二透明电极层6，再利用激光在所述第二透明电极层6上刻蚀TCO图形。

也可以通过以下步骤进行操作：利用真空镀膜设备在所述第二传输层5 上设置第二透明电极层6，再利用黄光制程曝光，然后利用酸刻蚀TCO图形。

步骤S50、在所述第二透明电极层6上设置第一金属层7。

在进行步骤S50时，具体可以通过以下步骤进行操作：利用丝网印刷技术在所述第二透明电极层6上设置第一金属层7，设置所第一金属层7的主要目的是为了降低所述第二透明电极层6的电阻。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。