公开/公告号CN114762609A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-07-19
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社岛津制作所;
申请/专利号CN202111521178.7
申请日2021-12-13
分类号A61B6/00;A61B6/04;
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本京都府
入库时间 2023-06-19 16:03:19
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-19
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置