一种晶圆无氰电镀金药液配方及其制备方法

摘要

本发明提供一种晶圆无氰电镀金药液配方及其制备方法，涉及电镀金技术领域，所述晶圆无氰电镀金药液配方包括第一层膜、第二层膜和第三层膜，所述第一层膜按重量百分比包括下列组分：聚对苯二甲酸乙二醇酯70‑90份，玻璃纤维10‑18份，增韧剂1‑3份，抗氧化剂5‑7份；所述第二层膜按重量百分比包括下列组分：聚对苯二甲酸乙二醇酯50‑60份，阻燃剂20‑25份，稳定剂5‑8份，开口剂3‑6份；所述第三层膜按重量百分比包括下列组分：聚对苯二甲酸乙二醇酯80‑85份。本发明通过第一层膜、第二层膜和第三层膜复合，从而制成晶圆无氰电镀金药液配方，在第一层膜中，本发明加入了玻璃纤维用来提高强度，第二层膜则具有耐火性能高的特点，而第三层膜则能够有效抑制静电，进步性显著。