基于虚拟光学层析技术高速解析物体表面形貌的系统

摘要

基于虚拟光学层析技术高速解析物体表面形貌的系统，包括若干根光纤，光纤均连接有光纤开关，光纤开关控制每根光纤的数据传输通道的关断，光纤开关连接有准直仪，通过准直仪的光信号射到分束器中，分束器的下表面依次设置有参考表面和物体表面，参考表面上设有机械振荡器件，由机械振荡器件带动参考表面移动，通过分束器的光信号依次射到参考表面和物体表面上，再由参考表面和物体表面反射到物镜中，经过物镜的光信号传输至图像捕捉器件中，由图像捕捉器件获取物体表面的参数。本发明通过机械振荡器件求解单波长相位，采取虚拟光学层析技术来对物体表面的形貌进行高速解析，推导出物体的表面形貌，解决多值性的问题。