一种晶圆料盒自动上下料机构及其自动上下料方法

摘要

本发明公开了一种晶圆料盒自动上下料机构及其自动上下料方法，所述晶圆料盒自动上下料机构包括循环传送带机构、若干料盒定位治具，所述料盒定位治具排布在所述循环传送带机构上；所述循环传送带机构包括上层传送带机构及其下方的下层传送带机构，以及第一升降机构和第二升降机构；所述第一升降机构位于所述下层传送带机构沿传送方向的一端，所述第二升降机构位于所述下层传送带机构的另一端；所述第一升降机构、所述第二升降机构在所述上层传送带机构和所述下层传送带机构之间往复运动，衔接所述上层传送带机构和所述下层传送带机构。本发明公开的一种利用立体上下层回流结构来满足晶圆料盒自动上下料的机构，占用空间小且有足量缓存区。