表面形状测定机及表面形状测定方法

摘要

本发明提供能够抑制在旋转工作台设置分度工作台来测定工件的表面形状时的测定精度的降低的表面形状测定机及表面形状测定方法。表面形状测定机具备：旋转工作台，其载置工件，并以旋转中心为中心旋转自如；以及检测器，其具有与载置于旋转工作台的工件接触的测头，并检测测头的位移，旋转工作台具有用于调节工件的中心与旋转中心的定心机构，表面形状测定机具备装卸自如地设置于旋转工作台之上的分度工作台，分度工作台构成为能够沿着与旋转中心正交的第一轴以及第二轴进行分度进给，表面形状测定机具备将伴随着分度工作台的分度进给产生的偏心载荷抵消的偏心载荷抵消单元。